DLC真空镀膜机
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当前位置:真空设备 > 真空镀膜
经营模式: 生产/制造
企业性质: 有限责任公司
发布日期: 2020-8-26 17:04:49
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深圳市昊光机电应用科技有限公司
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详细说明
编号:产地:广东深圳
价格:面议规格:
详细介绍: 

DLC俗称类金刚石,是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多,有热沉积、磁控、气象沉积、电弧沉积、离子源沉积等, 不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同, 沉积的DLC 膜的结构和性能存在很大差别, 摩擦学性能也不相同。

该设备采用PVD+CVD工艺模式,可以沉积厚度在3微米以内的纯正DLC膜层,设备可配备离子源,进一步提高结合力。

一、设备配置:

1、粗抽泵+分子泵

2、质量流量计:4

3、真空计:薄膜规1个,全量程真空计1

4、电源:直流电源等3

5、离子源:1

二、DLC膜层性能

1、硬度在HV2000-2500之间

2、低摩擦系数:0.1左右

3、高绝缘性能:电阻测量在10M欧以上

三、类金刚石膜(DLC)的应用

1DLC膜可广泛应用于各类工具、模具和刀具,如钻头、铣刀、光盘模具、冲模、塑料成型模、玻璃成型模和镁合金加工模具等。

2、滑动部件,如轴承、齿轮等。

3、汽车零部件:燃料喷射系统(气门挺杆)、柱塞、喷油针等)、动力传动系统(齿轮、滚动轴承等)、活塞部件(活塞环、活塞销等)、凸轮轴部件(销、衬套、摇臂及部分液压元件等)和其他部件(如门锁、内饰等)

 


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